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篇名: RCA清洗程序
作者: David Kuo	日期: 2012.01.22　　天氣: 　心情:

RCA清洗法的程序可分為：

Standard clean 1 或簡稱SC-1為標準清洗的第一段製程，由5
份去離子水+1份30％雙氧水＋1份29％氨水組成之鹼性過氧化
物混合液，加溫至攝氏70 - 80度清洗，過後再以去離子水沖
洗（rinse）。SC-1溶液作用為去除晶圓表面之塵粒吸附，並
可氧化及去除輕微的有機物污染及部份金屬原子污染。

Standard clean 2 或簡稱SC-2為標準清洗第二步驟，由6份去
離子水+1份30％雙氧水＋1份37％鹽酸組成之酸性過氧化物混
合液，加溫至攝氏70 - 80度清洗，過後再以去離子水沖洗
（rinse）。SC-2溶液可溶解鹼金屬離子和鋁、鐵及鎂之氫氧
化物，此乃藉由鹽酸中氯離子與殘留金屬離子形錯合物而溶
解於水溶液中。

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